Galiniai šlifavimo ratai naudojami plonam ir smulkiam silicio plokštelės šlifavimui.
Deimantiniai galiniai šlifavimo ratai naudojami silicio plokštelių šlifavimui. mūsų pažangi technologija leidžia galinį šlifavimo ratą šlifuoti visų tipų puslaidininkines plokšteles, turinčias mažiau požeminio pažeidimo.
Šlifavimo metu šlifavimo ratas ir plokštelė vienu metu sukasi aplink savo sukimosi ašis, o ratas tiekiamas link plokštelės išilgai savo ašies. Šlifavimo rato sukimosi ašį kompensuoja rato spindulio atstumas nuo plokštelės sukimosi ašies.
Silicio plokštelių nugaros retinimas, grubus malimas ir smulkus malimas.
Apdorotas ruošinys apima silicio plokštelę iš atskirų įtaisų, integruotas mikroschemas (IC) ir neapdorotus ir kt.
Geras savarankiškas apsirengimas, ilgas gyvenimas ir mažos kainos.
Didelis šilumos laidumas, didelis atsparumas dilimui ir mažas koeficientas.
Labai pageidautina, kad šlifavimo ratai pažemintų plokštes tik labai nedaug.
Galiniai šlifavimo ratai gali būti naudojami Japonijos, Vokietijos, Amerikos, Korėjos ir kitiems šlifuokliams. Tokie kaip „Okamoto“, „Disco“, „Strasbaugh“ ir kiti šlifavimo staklės.
Modelis | Skersmuo (mm) | storis (mm) | skylė (mm) | |||
6A2 |
175 | 30, 35 | 76 | |||
200 | 35 | 76 | ||||
350 | 45 | 127 | ||||
6A2T |
195 | 22.5, 25 | 170 | |||
280 | 30 | 228.6 | ||||
6A2T (trys elipsės) |
350 | 35 | 235 | |||
209 | 22.5 | 158 | ||||
pagal kliento reikalavimus gali būti atliekama kita specifikacija |